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石墨板在半導(dǎo)體行業(yè)中具有多種重要應(yīng)用，主要得益于其優(yōu)異的導(dǎo)熱性，耐高溫性，化學(xué)穩(wěn)定性和導(dǎo)電性。

高溫工藝中的承載與加熱

飾刻工藝的電極與部件

單晶硅生長

在單晶硅棒制造中，石墨板用于加熱器，隔熱屏或坩堝支撐部件，承受高溫并維持熱場均勻性。

散熱管理

石墨板的高導(dǎo)熱性

真空環(huán)境下的結(jié)構(gòu)材料

在半導(dǎo)體設(shè)備中，石墨板用于真空腔體內(nèi)支架或屏蔽組件，因其低放棄率和耐高溫特性

石墨板的優(yōu)勢

高純度  熱穩(wěn)定性 化學(xué)惰性 輕量化 

石墨板在半導(dǎo)體制作中是不可或缺的關(guān)鍵材料